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Procédés plasmas multi-échelle : quelles stratégies pour le dépôt de couches minces nanocomposites ?
Kremena Makasheva  1@  , Richard Clergereaux  1@  , Nicolas Naude  1@  
1 : Sciences et Ingénierie des Plasmas Réactifs et des Arcs
LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie

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