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Characterization of Nanoparticle Growth and Plasma Chemistry in Methane/Argon Capacitively Coupled RF Plasma
1 : GREMI, UMR 7344, CNRS-université d'Orléans, 14 rue d'Issoudun, BP 6744, 45067 Orléans cedex 2
* : Auteur correspondant
GREMI UMR7344
| Type : | : | Préférence : Poster "Jeunes" |
| Thématiques | : | Plasmas basse pression |
| Thématiques | : | Diagnostic |
| Thématiques | : | Sesssion - Posters |
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